Verfahren zur Herstellung einer Verbindungsstruktur

EP3843130 Art A1 30. Juni 2021

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3843130
Aktenzeichen: EP19219343
Anmeldetag: 23. Dezember 2019
Veröffentlichung: 30. Juni 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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