System und Verfahren zur Messung der Dicke eines Ultradünnen Films auf einem Substrat
EP3845893
Art B1
21. Dezember 2022
Anmelder: Industrial Technology Research Institute 🇹🇼
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3845893
- Aktenzeichen
- EP20171530
- Anmeldetag
- 27. April 2020
- Veröffentlichung
- 21. Dezember 2022
- Erteilung
- 21. Dezember 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N23/223G01B15/02H01L21/66// G01N23/2252
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Industrial Technology Research Institute
- Land
- 🇹🇼 Taiwan
🇹🇼
Industrial Technology Research Institute
Taiwanisches Forschungsinstitut für angewandte Technologie, entwickelt und überträgt Innovationen aus Elektronik, Materialwissenschaft und Industrietechnik in die Wirtschaft.
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Wallinger Ricker Schlotter Tostmann
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