Direktes Flüssigkeitseinspritzsystem für Dünnschichtabscheidung

EP3847294 Art A1 14. Juli 2021

Anmelder: Elevated Materials Germany GmbH, Applied Materials, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3847294
Aktenzeichen: EP19857246
Anmeldetag: 20. August 2019
Veröffentlichung: 14. Juli 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/448C23C16/52C23C16/455C23C16/40C23C16/50H01M4/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Elevated Materials Germany GmbH
Applied Materials, Inc.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von