Verfahren und Vorrichtung zur Pulsgaszuführung unter Verwendung eines Externen Druckauslösers

EP3847295 Art A1 14. Juli 2021

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3847295
Aktenzeichen: EP19856859
Anmeldetag: 20. August 2019
Veröffentlichung: 14. Juli 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G05D7/06G01F1/36G01F15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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