Wafer-Debonding durch Ablation mit Infrarotstrahlung Mittlerer Wellenlänge

EP3848955 Art A3 17. November 2021

Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3848955
Aktenzeichen
EP21159899
Anmeldetag
29. Juli 2014
Veröffentlichung
17. November 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/683H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
International Business Machines Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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