Halbleiterherstellungsverfahren und Halbleiterherstellungsvorrichtung

EP3848956 Art A1 14. Juli 2021

Anmelder: Sumitomo Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3848956
Aktenzeichen: EP19857666
Anmeldetag: 24. Juni 2019
Veröffentlichung: 14. Juli 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/285H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio. Sumitomo Heavy Industries fertigt Maschinenbauprodukte, Baumaschinen, Getriebe sowie Anlagen für Umwelttechnik und Schiffbau.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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