Ventilsystem mit Positionsanzeige

EP3850253 Art A1 21. Juli 2021

Anmelder: Entegris, Inc., ROTAREX S.A., Luxembourg Patent Company SA 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3850253
Aktenzeichen
EP19859628
Anmeldetag
13. September 2019
Veröffentlichung
21. Juli 2021
Rechtsraum
EP
IPC
F16K37/00F16K31/44F16K31/60B01D53/04F17C11/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
ROTAREX S.A.
Luxembourg Patent Company SA
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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