Auf einem Adsorbens Basierter Mechanisch Geregelter Gasspeicher und Abgabebehälter

EP3850265 Art A1 21. Juli 2021

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3850265
Aktenzeichen
EP19861064
Anmeldetag
21. März 2019
Veröffentlichung
21. Juli 2021
Rechtsraum
EP
IPC
F17C11/00F17C13/04C01B3/00B01J20/22
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Maschinenelemente & Fluidtechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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