Verfahren zur Herstellung eines Stempels für die Imprintlithografie, Stempel für Imprintlithografie, Imprint-Rolle und Rolle-Zu-Rolle-Substratverarbeitungsvorrichtung

EP3850433 Art A1 21. Juli 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3850433
Aktenzeichen: EP18773372
Anmeldetag: 12. September 2018
Veröffentlichung: 21. Juli 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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