Vorrichtung zur Reinigung einer Komponente einer Halbleiterherstellungseinrichtung, Verfahren zur Reinigung einer Komponente einer Halbleiterherstellungseinrichtung und System zur Reinigung einer Komponente einer Halbleiterherstellungseinrichtung

EP3854492 Art B1 19. Juni 2024

Anmelder: Taiyo Nippon Sanso Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3854492
Aktenzeichen: EP19884724
Anmeldetag: 25. Oktober 2019
Veröffentlichung: 19. Juni 2024
Erteilung: 19. Juni 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67C23C16/34C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Taiyo Nippon Sanso Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Taiyo Nippon Sanso

Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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