Vorrichtung und Verfahren zur Strahlwinkelmessung eines von einer Strahlführungsoptik Geführten Lichtstrahls
EP3861401
Art B9
17. Dezember 2025
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3861401
- Aktenzeichen
- EP19759516
- Anmeldetag
- 14. August 2019
- Veröffentlichung
- 17. Dezember 2025
- Erteilung
- 17. Dezember 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B27/64H05G2/00G01S3/784
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
103
Patente gesamt
19
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte