Vorrichtung und Verfahren zur Strahlwinkelmessung eines von einer Strahlführungsoptik Geführten Lichtstrahls

EP3861401 Art B9 17. Dezember 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3861401
Aktenzeichen
EP19759516
Anmeldetag
14. August 2019
Veröffentlichung
17. Dezember 2025
Erteilung
17. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G02B27/64H05G2/00G01S3/784
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

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