Verfahren zur Bildaufzeichnung unter Verwendung eines Teilchenmikroskops

EP3861528 Art A1 11. August 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3861528
Aktenzeichen: EP19782992
Anmeldetag: 1. Oktober 2019
Veröffentlichung: 11. August 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G06T7/246

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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