Chemische Flüssigkeit, Gehäusekörper für Chemische Flüssigkeit, Verfahren zur Herstellung eines Resistmusters und Herstellungsverfahren für Halbleiterchips

EP3862815 Art A1 11. August 2021

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3862815
Aktenzeichen
EP19869099
Anmeldetag
4. September 2019
Veröffentlichung
11. August 2021
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/32B65D1/00G03F7/26H01L21/027G03F7/038G03F7/039G03F7/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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