Verfahren zur Abscheidung von Wolfram- oder Molybdänfolien

EP3864187 Art A1 18. August 2021

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3864187
Aktenzeichen
EP19870425
Anmeldetag
24. September 2019
Veröffentlichung
18. August 2021
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/18C23C16/56C23C16/455H01L21/285
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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