Template für Epitaktisches Wachstum mit Kohlenstoffpuffer auf Sublimierten Sic-Substraten

EP3867064 Art A1 25. August 2021

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3867064
Aktenzeichen: EP19872794
Anmeldetag: 16. Oktober 2019
Veröffentlichung: 25. August 2021
Rechtsraum: EP
IPC: B32B37/26B32B9/04H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Massachusetts Institute of Technology
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

5.635 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von