Chemische Ätzverfahren zur Herstellung von Nanostrukturen
EP3867193
Art A1
25. August 2021
Anmelder: Georgia Tech Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3867193
- Aktenzeichen
- EP19874664
- Anmeldetag
- 18. Oktober 2019
- Veröffentlichung
- 25. August 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/336H01L29/775H01L29/06H01L21/02H01L21/04H01L29/423H01L21/306H01L21/311H01L21/32H01L29/40// B82Y10/00B82Y40/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Georgia Tech Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Georgia Tech Research Corporation
Die Georgia Tech Research Corporation ist die Einrichtung des Georgia Institute of Technology in den USA, die Forschungsverträge verwaltet und geistiges Eigentum der Universität lizenziert.
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Van den Berg, Frans Richard
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