Piezoelektrische Vorrichtung mit Säulenstruktur und Herstellungsverfahren

EP3869575 Art A1 25. August 2021

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3869575
Aktenzeichen: EP20158759
Anmeldetag: 21. Februar 2020
Veröffentlichung: 25. August 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L41/083B06B1/06H01L41/277

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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