Schichtdickenmessung durch Auswertung des Spektrums der Fluoreszenzemission

EP3872445 Art B1 27. März 2024

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3872445
Aktenzeichen: EP20159181
Anmeldetag: 25. Februar 2020
Veröffentlichung: 27. März 2024
Erteilung: 27. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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