Bor-Dotierte Amorphe Kohlenstoffhartmaske und Verfahren
EP3874536
Art A1
8. September 2021
Anmelder: ENTEGRIS INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3874536
- Aktenzeichen
- EP19877777
- Anmeldetag
- 21. Oktober 2019
- Veröffentlichung
- 8. September 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/033H01L21/04H01L21/02H01L21/311H01L21/324
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar