Verfahren zur Herstellung einer Damaszenverdrahtungsstruktur und Damaszenverdrahtungsstruktur

EP3876266 Art A1 8. September 2021

Anmelder: Hamamatsu Photonics K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3876266
Aktenzeichen: EP19880537
Anmeldetag: 30. Oktober 2019
Veröffentlichung: 8. September 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G02B26/08G02B26/10B81C1/00H01L21/306H01L21/3065H01L21/74H01L23/535

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hamamatsu Photonics K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hamamatsu Photonics

Japanisches Unternehmen für Photonik mit Sitz in Hamamatsu, spezialisiert auf Photodetektoren, Bildsensoren, Laser und optische Messtechnik für Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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