Tiefenmodulierte Schräggitter unter Verwendung von Grautonlithografie und Schrägätzen

EP3878047 Art A1 15. September 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3878047
Aktenzeichen: EP19881960
Anmeldetag: 23. Oktober 2019
Veröffentlichung: 15. September 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01P11/00H01P3/00G03F7/00F21V8/00G02B6/00G02B5/18G02B27/01G02B27/00// G02B6/124G02B6/136G02B6/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik

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