Sicherheitsverschlüsse und Pumpsysteme
EP3879100
Art B1
6. Dezember 2023
Anmelder: Flowchem LLC, Krywitsky, Lee A., CMC Materials, Inc., Cabot Microelectronics Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3879100
- Aktenzeichen
- EP21171706
- Anmeldetag
- 22. Dezember 2014
- Veröffentlichung
- 6. Dezember 2023
- Erteilung
- 6. Dezember 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04B9/14F04B17/06F04B53/16F04B53/22F16J13/12F16L55/115F16J13/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Flowchem LLC
Krywitsky, Lee A.
CMC Materials, Inc.
Cabot Microelectronics Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cabot Microelectronics
Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.
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Vertreten von
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Barker Brettell LLP · Kongens Lyngby
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Hepworth Browne · Leeds