Material zur Formung eines Organischen Films, Verfahren zur Herstellung eines Organischen Films, Strukturierungsverfahren und Verbindung

EP3879341 Art B1 21. September 2022

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3879341
Aktenzeichen
EP21159432
Anmeldetag
25. Februar 2021
Veröffentlichung
21. September 2022
Erteilung
21. September 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/09C07C233/80C07C235/84C07D233/74C07D239/10C07D251/30C07D487/04H01L21/033
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff München, Deutschland

Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.

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