Selektive Abscheidung von Metallsiliziden und Selektive Oxidentfernung
Anmelder: Applied Materials, Inc., The Regents of the University of California 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3881349
- Aktenzeichen
- EP19884016
- Anmeldetag
- 25. September 2019
- Veröffentlichung
- 22. September 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/285H01L21/311H01L21/324C23C16/46C23C16/42C23C16/455
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
The Regents of the University of California - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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US-amerikanisches öffentliches Universitätssystem mit zahlreichen Standorten (u.a. Berkeley, Los Angeles, San Diego). Die Regents of the University of California halten die Patente aus Forschung in Biotechnologie, Medizin, Materialwissenschaften und Ingenieurwesen.
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