Verfahren zum Entwerfen und Gleichmässigen Co-Herstellen Kleiner Durchgangslöcher und Grosser Hohlräume durch ein Substrat
EP3881352
Art A1
22. September 2021
Anmelder: HRL Laboratories LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3881352
- Aktenzeichen
- EP19885687
- Anmeldetag
- 10. September 2019
- Veröffentlichung
- 22. September 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/48H01L21/683H01L23/498H01L23/538// H01L23/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- HRL Laboratories LLC
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
HRL Laboratories
HRL Laboratories ist ein US-amerikanisches Forschungslabor, das gemeinsam von Boeing und General Motors betrieben wird und in verschiedenen Technologiefeldern forscht. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Software und Datenverarbeitung, ergänzt durch Nachrichtentechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.
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Lusinchi, Laurent Pierre
München, Deutschland
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