Verfahren zur Gewinnung eines Festen Materials mit Gasförmigen Aggregaten mittels Magnetron-Kathodensputtern unter Statischen oder Quasistatischen Bedingungen zur Verringerung des Gaseinsatzes

EP3882372 Art A1 22. September 2021

Anmelder: Consejo Superior de Investigaciones Cientificas 🇪🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3882372
Aktenzeichen: EP19884840
Anmeldetag: 28. Oktober 2019
Veröffentlichung: 22. September 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/35B82Y40/00C23C14/16C23C14/02

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: Consejo Superior de Investigaciones Cientificas
Land: 🇪🇸 Spanien

🇪🇸 Consejo Superior de Investigaciones Científicas

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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