Substratträger, Testvorrichtung und Verfahren zur Einstellung der Temperatur eines Substratträgers

EP3882644 Art B1 17. April 2024

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3882644
Aktenzeichen: EP21161985
Anmeldetag: 11. März 2021
Veröffentlichung: 17. April 2024
Erteilung: 17. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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