Verfahren zur Herstellung einer Halbleitenden Dünnschichtvorrichtung

EP3882955 Art A1 22. September 2021

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3882955
Aktenzeichen
EP20164000
Anmeldetag
18. März 2020
Veröffentlichung
22. September 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/033H01L29/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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