Elektrostatisches Futter mit Ladungsableitbeschichtung

EP3884513 Art A1 29. September 2021

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3884513
Aktenzeichen
EP19886420
Anmeldetag
13. November 2019
Veröffentlichung
29. September 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/683H01L21/687H01L21/67H02N13/00B23Q3/15
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von

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