Endeffektor für Plattenförmige Substrate
EP3884514
Art B1
21. Juni 2023
Anmelder: Atotech Deutschland GmbH & Co. KG, Atotech Deutschland GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3884514
- Aktenzeichen
- EP19808783
- Anmeldetag
- 22. November 2019
- Veröffentlichung
- 21. Juni 2023
- Erteilung
- 21. Juni 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Atotech Deutschland GmbH & Co. KG
Atotech Deutschland GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Atotech Deutschland
Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.
545 Patente in unserer Datenbank