Zusammensetzung zur Kobaltbeschichtung mit Additiv zur Lückenlosen Submikronmerkmalfüllung

EP3885475 Art A1 29. September 2021

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3885475
Aktenzeichen: EP21167454
Anmeldetag: 6. Juli 2017
Veröffentlichung: 29. September 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C25D7/12C25D3/16H01L21/288H01L23/532// C25D3/18H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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