Zusammensetzung zur Formung von Amorphem Silicium mit Blockcopolymer und Verfahren zur Herstellung einer Amorphen Siliciumschicht unter Verwendung davon

EP3887429 Art A1 6. Oktober 2021

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3887429
Aktenzeichen
EP19809812
Anmeldetag
26. November 2019
Veröffentlichung
6. Oktober 2021
Rechtsraum
EP
IPC
C08G77/42C08G77/452C08G77/60C08G77/62C09D183/16H01L21/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Merck Patent GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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