Mehrkammer-Vakuumabsaugsystem

EP3887681 Art B1 1. Mai 2024

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3887681
Aktenzeichen
EP19816412
Anmeldetag
27. November 2019
Veröffentlichung
1. Mai 2024
Erteilung
1. Mai 2024
Rechtsraum
EP
IPC
F04B37/14F04B41/06F04D19/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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