Schnelle Vernetzbare Neutrale Unterschichten für die Kontaktlochselbstmontage von Polystyrol-B-Poly(methylmethacrylat)-Diblock-Copolymeren und deren Formulierung

EP3891198 Art B1 15. März 2023

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3891198
Aktenzeichen
EP19816628
Anmeldetag
4. Dezember 2019
Veröffentlichung
15. März 2023
Erteilung
15. März 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C08F220/14C09D133/12G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Merck Patent GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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