Verfahren und System zum Abscheiden einer P-Oxidschicht auf einem Substrat

EP3891319 Art A1 13. Oktober 2021

Anmelder: NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST- NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3891319
Aktenzeichen
EP19816951
Anmeldetag
3. Dezember 2019
Veröffentlichung
13. Oktober 2021
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/40C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST- NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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