Verwendung einer Nachgiebigen Schicht zur Beseitigung von Stossverklebungen

EP3891779 Art A1 13. Oktober 2021

Anmelder: SRI International 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3891779
Aktenzeichen: EP19893604
Anmeldetag: 22. August 2019
Veröffentlichung: 13. Oktober 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L23/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SRI International
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 SRI International

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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