Zusammengesetzte Nanoporöse Metallmembran

EP3894054 Art A1 20. Oktober 2021

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3894054
Aktenzeichen
EP19894817
Anmeldetag
21. November 2019
Veröffentlichung
20. Oktober 2021
Rechtsraum
EP
IPC
B01D63/08B01D67/00B01D71/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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