Reinigungslösung für Substrate, Verfahren zur Herstellung eines Gereinigten Substrats und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP3894491 Art A1 20. Oktober 2021

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3894491
Aktenzeichen
EP19824274
Anmeldetag
12. Dezember 2019
Veröffentlichung
20. Oktober 2021
Rechtsraum
EP
IPC
C09D161/00H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Merck Patent GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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