Zusammensetzung und Verfahren zum Selektiven Ätzen von Ruthenium Und/oder Kupfer

EP3894512 Art B1 24. Dezember 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3894512
Aktenzeichen
EP19896272
Anmeldetag
22. November 2019
Veröffentlichung
24. Dezember 2025
Erteilung
24. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C09K13/06H01L21/306H01L21/3213C23F1/40C09K13/02C09K13/04C23F1/34
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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