Fluorid-Ionen-Implantationssystem mit Nicht-Wolframmaterialien und Verwendungsverfahren

EP3895199 Art A1 20. Oktober 2021

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3895199
Aktenzeichen
EP19897371
Anmeldetag
13. Dezember 2019
Veröffentlichung
20. Oktober 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/317H01J37/16H01J37/08// H01L21/265
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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