Aktives Nasswäschefiltrationssystem

EP3897924 Art B1 3. September 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3897924
Aktenzeichen
EP19898848
Anmeldetag
25. November 2019
Veröffentlichung
3. September 2025
Erteilung
3. September 2025
Rechtsraum
EP
IPC
B01D53/75B01D53/24B01D53/14B01D53/78B01D47/06B01D47/12B01D50/60B01D53/18
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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