Aufdampfvorrichtung und Verfahren zur Beschichtung eines Substrats in einer Vakuumkammer

EP3899085 Art A1 27. Oktober 2021

Anmelder: Elevated Materials Germany GmbH, Applied Materials, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3899085
Aktenzeichen: EP18826382
Anmeldetag: 21. Dezember 2018
Veröffentlichung: 27. Oktober 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/06C23C14/14C23C14/24C23C14/56C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Elevated Materials Germany GmbH
Applied Materials, Inc.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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