Ventil und Ventilelement zur Steuerung eines Fluidstroms

EP3899333 Art A1 27. Oktober 2021

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3899333
Aktenzeichen
EP19900264
Anmeldetag
9. Dezember 2019
Veröffentlichung
27. Oktober 2021
Rechtsraum
EP
IPC
F16K25/00F16K7/12F16K15/06F16K11/048F16K27/02F16K41/12F16K41/10
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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