Elektronenstrahlgerät für die Herstellung einer Optischen Vorrichtung

EP3899615 Art A1 27. Oktober 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3899615
Aktenzeichen
EP19900534
Anmeldetag
17. Dezember 2019
Veröffentlichung
27. Oktober 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/06H01J37/32H01J37/305H01J37/08H01J37/073G02B6/13G02B6/122G02B6/12G02B5/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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