Verfahren zur Herstellung einer Optischen Vorrichtung unter Verwendung eines Elektronenstrahlgerätes

EP3899617 Art B1 10. April 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3899617
Aktenzeichen: EP19900535
Anmeldetag: 17. Dezember 2019
Veröffentlichung: 10. April 2024
Erteilung: 10. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G02B6/13G02B6/122G02B6/12H01J37/073G02B5/18G02B27/01// H01J37/08H01J37/305H01J37/32H01J37/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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