Ionenstrahlquelle zur Herstellung einer Optischen Vorrichtung

EP3900008 Art A1 27. Oktober 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3900008
Aktenzeichen: EP19901270
Anmeldetag: 17. Dezember 2019
Veröffentlichung: 27. Oktober 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/08H01J37/32H01J37/305G02B5/18G02B6/13G02B6/122G02B6/12H01L21/3065G02B27/01H01J37/073

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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