Elektrodenanordnung für eine Plasmaquelle zur Durchführung von Plasmabehandlungen

EP3900010 Art B1 4. September 2024

Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3900010
Aktenzeichen: EP19817244
Anmeldetag: 5. Dezember 2019
Veröffentlichung: 4. September 2024
Erteilung: 4. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H01J37/34C23C14/32

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon

Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.

286 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von