Magnetanordnung für eine Plasmaquelle zur Durchführung von Plasmabehandlungen

EP3900011 Art B1 22. Mai 2024

Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3900011
Aktenzeichen: EP19817245
Anmeldetag: 5. Dezember 2019
Veröffentlichung: 22. Mai 2024
Erteilung: 22. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32C23C14/32C23C14/02H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon

Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.

286 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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