Systeme und Verfahren zum Lagern und Zuführen von Fno-Freien Fno-Gasen und F3NO -Freien Fno-Gasgemischen für Halbleiterprozesse

EP3900021 Art A1 27. Oktober 2021

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3900021
Aktenzeichen: EP19898976
Anmeldetag: 12. Dezember 2019
Veröffentlichung: 27. Oktober 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065H01L21/302B01J3/02C09K13/00H01J37/32H01L21/311H01L21/67C01B21/084

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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