Vorläufer und Verfahren zur Abscheidung von Si-Haltigen Schichten unter Verwendung von Ald bei einer Temperatur von 550 °c oder Höher

EP3900022 Art A1 27. Oktober 2021

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3900022
Aktenzeichen: EP19901031
Anmeldetag: 13. Dezember 2019
Veröffentlichung: 27. Oktober 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/31H01L21/316H01L21/318C23C16/40C23C16/44C23C16/34C23C16/455H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von